金融界2025年5月5日动静，国度学问产权局消息显示，北方华创微电子配备无限公司申请一项名为“承载安拆及半导体工艺腔室”的专利，公开号CN119913610A，本发现供给一种承载安拆及半导体工艺腔室，承载安拆包罗基座、多个承载件和多个扭转布局；基座用于设置正在半导体工艺腔室内，并可以或许相对于半导体工艺腔室扭转；承载件用于承载晶圆，且多个承载件别离绕本身的轴线可动弹地设置于基座上；多个扭转布局和多个承载件逐个对应且共同设置，并别离取基座共同设置，扭转布局用于正在基座的扭转感化下相对于基座扭转，本发现供给的承载安拆及半导体工艺腔室，可以或许提高统一晶圆概况遭到的温度场和气流场的平均性，从而可以或许提高片内的外延层平均性。天眼查材料显示，北方华创微电子配备无限公司，成立于2001年，位于市，是一家以处置电气机械和器材制制业为从的企业。企业注册本钱114153。708311万人平易近币。通过天眼查大数据阐发，北方华创微电子配备无限公司共对外投资了7家企业，参取招投标项目1028次，财富线条，此外企业还具有行政许可340个。
